ULVAC爱发科
分子泵控制FTI-1400W-D3
维修案例实拍图
爱发科（ULVAC）是1952年由日本生命保险公司、松下电器产业股份有限公司等6家公司共同投资建立。爱发科以真空技术为核心，为平板显示、集成电路等高端制造业提供优质的设备、材料、真空配套产品及服务。爱发科的目标是通过对材料技术的综合利用，为工业与科学的发展做出贡献。。
我司有自行研发的成熟的电源各系列测试系统，常修的ULVAC爱发科 溅射用D脉冲电源型号如下（常见故障有：通电无显示、无法启动、启动无输出、输出电压偏小或偏大、输出电流偏小或偏大、过热等）：
DC-10-D DC-10-DH DC-20-D DC-20-DH DC-10-AM DC-10-H-AM DC-10-4-AM
DC-20-AM DC-20-H-AM DC-20-4-AM DC-30-44H-E DC-2 DC-4 DCS0052B
A2KH-25 A2K-20K A2K-40K MFU-20K
ULVAC爱发科 RF射频电源型号（常见故障有：通电无显示、电源无法启动、无输出功率、反射功率偏高、入射功率偏低、输出功率不稳、过热、互锁信号异常等）：
RMG-1303 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N MBX-1305N
MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N MEX2N-1k MEX2N-3k MEX3N-1k
MEX3N-3k MEX4N-1k MEX4N-3k MEX5N-1k MEX5N-3k MEX6N-1k
MEX6N-3k MEX7N-1k MEX7N-3k MEX8N-1k MEX8N-3k PHS-04N
PHS-08N EXO-13
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